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9182氧膜材料表面的幾何形狀

更新時(shí)間:2019-10-15      點(diǎn)擊次數(shù):2396
  氧化膜應(yīng)力的測(cè)量是氧化膜應(yīng)力研究的基礎(chǔ)。已經(jīng)發(fā)展了多種氧化膜應(yīng)力原位測(cè)量技術(shù)。由于氧化膜較薄,氧化膜與基體金屬構(gòu)成一動(dòng)態(tài)復(fù)合體系以及環(huán)境溫度高等特點(diǎn),氧化膜應(yīng)力的測(cè)試技術(shù)與常規(guī)薄膜的不同。從四十年代開始對(duì)氧化膜應(yīng)力進(jìn)行定量測(cè)量,由于技術(shù)的限制,測(cè)試范圍和精度一直達(dá)不到像薄膜殘余應(yīng)力測(cè)量的程度。但是,近年來(lái)隨著新技術(shù)的應(yīng)用和研究的深入,在氧化膜應(yīng)力方面才取得了明顯進(jìn)展。盡管如此,對(duì)氧化膜應(yīng)力的研究工作還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠,許多問(wèn)題亟待進(jìn)一步澄清。
 
  總結(jié)了氧化膜應(yīng)力產(chǎn)生和釋放機(jī)制,氧化膜應(yīng)力原位測(cè)量技術(shù)以及稀土對(duì)氧化膜應(yīng)力影響等方面的研究進(jìn)展,以探求氧化膜應(yīng)力研究的發(fā)展方向
 
  材料表面的幾何形狀:
 
  通常認(rèn)為di一種因素是重要的。對(duì)各向同性的氧化膜,對(duì)實(shí)用純金屬, PBR通常大于1,氧化膜內(nèi)存在壓應(yīng)力。而氧化物在基體金屬上取向生長(zhǎng)造成晶格畸變。這部分應(yīng)力只對(duì)特別薄的膜才明顯。對(duì)于不同的金屬體系或是在不同的氧化條件下,其它因素的作用也可能十分突出,甚至是主要的。例如,通常認(rèn)為氧化鋁膜發(fā)生橫向生長(zhǎng),即新的氧化物主要在已形成膜內(nèi)的晶界處生成。此時(shí),氧化膜橫向生長(zhǎng)是應(yīng)力產(chǎn)生的主要因素。另外,金屬試樣初始表面形狀對(duì)氧化膜內(nèi)應(yīng)力的性質(zhì)及大小也有著十分明顯的影響。Hunt z認(rèn)為,在許多情況下,氧化膜應(yīng)力的性質(zhì)與氧化膜的生長(zhǎng)機(jī)制有更直接的關(guān)系。
 
  對(duì)于氧化膜生長(zhǎng)應(yīng)力產(chǎn)生的理論分析也進(jìn)行了部分工作,提出了不同模型來(lái)解釋氧化膜內(nèi)存在的壓應(yīng)力。例如,新的氧化物在晶界處生成模型,界面刃型位錯(cuò)排列模型,界面突出物模型以及界面位錯(cuò)攀移模型等。這些模型對(duì)理解應(yīng)力產(chǎn)生機(jī)制是十分有益的。但在目前情況下,由于缺少必要的關(guān)于氧化膜性質(zhì)的參量,還達(dá)不到定量計(jì)算的程度。

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